喷金，喷金完成后要用无尘纸擦一下喷金机器圆柱筒的内壁；

将样品装到样品台；

确定VENT灯常亮，EVAC灯常暗；如果不，则长按VENT按键2秒，闪烁后松手，待VENT灯常亮；

打开SEM盖子，按照既定方向将样品台放到SEM机器中，关闭SEM盖子；

长按EVAC按键2秒，闪烁后松手，待EVAC灯常亮；

搅动拉杆，将样品台推入内室；

长按VENT按键2秒，闪烁后等待常亮；

等待VENT灯常亮过程中就可以去电脑屏幕选择样品台类型，点击OK；

点击Home Position；

等待SEM Monitor栏目下的Vacuum降到5.1×10-4 Pa以下；

点击左上角Observation栏目的“ON”按键；

右键选择样品台，右键单击即可以前往；

确认signal是SEI模式，然后先在LOW MAG下(LOW MAG灯亮)选择好目标，LOW MAG下面的旋钮是放大和缩小的作用，ACB按键为亮度自动调节；

Focus下大旋钮为粗调对焦，得到比较锐利的图片后，取消LOW MAG(LOW MAG灯灭)，进入高分辨模式，继续使用大旋钮粗调；

如果画面抖动比较严重，可以按下WOBB按钮进入WOBB模式，测试旋转X和Y两个小旋钮去消除抖动；

退出WOBB模式，再用X和Y两个旋钮，此时的作用则变成了对焦细调；

一顿操作后如果需要取图像了，则先点击FINE VIEW然后马上点击FREEZE，FREEZE灯闪烁后常亮，此时再点击PHOTO按键导出图片到自己已经建好的文件夹中去；

导出成功后，点击FREEZE按键解除锁定，点击FINE VIEW左边的QUICK VIEW重新进入“寻找”模式，找想要的图片；

退出步骤：退到LOW MAG模式，并将放大倍数调到最小，再将软件中Observation栏目下的“ON”改为“OFF”；

再点击软件中"Spec. Exchange"按钮进入退出步骤；

长按EVAC按钮，等待其闪烁后松开，并等待其常亮；

搅动拉杆，将样品台退出；

长按VENT按钮，等待其闪烁后松开，并等待其常亮；

打开SEM盖子，取出样品台，重新盖上盖子；

开始取数据：前往喷金台子边上的电脑，找到对应文件夹，压缩并用邮件或者U盘方式取出数据。